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一种异型电极微型电场传感器，包括传感器敏感单元、驱动电路单元(6)与信号检测电路单元(7)；其特征在于，传感器敏感单元包括：衬底(1)、激励单元(2)、屏蔽电极(3)、电场感应电极(4)和锚点(5)；其中，衬底(1)位于传感器敏感结构中间位置，屏蔽电极(3)和电场感应电极(4)组成的阵列固定在衬底(1)上表面，屏蔽电极(3)和电场感应电极(4)交替排列；至少两激励单元(2)固定在衬底(1)上表面，位于电极阵列周缘，分别对称布置在衬底(1)的两侧，并分别与屏蔽电极(3)电连接；多个锚点(5)固定在衬底(1)上表面，位于电极阵列周缘，分别两两对称布置在衬底(1)的另两侧，并分别与电场感应电极(4)电连接；使用时，至少两激励单元(2)分别与驱动电路单元(6)电连接，多个锚点(5)分别与信号检测电路单元(7)电连接；所述屏蔽电极(3)和电场感应电极(4)分别包括横梁(32、42)和电极结构(31、41)；其中，电极结构(31、41)采用结构支撑臂(311、411)连接电极阵列(312、412)的方式；屏蔽电极(3)的横梁(32)和电场感应电极(4)的横梁(42)相互平行设置，结构支撑臂(311、411)分别与横梁(32、42)侧面垂直固连，电极阵列(312、412)分别与结构支撑臂(311、411)侧面垂直固连；结构支撑臂(311、411)相互平行交替设置，电极阵列(312、412)相互相对交错设置；屏蔽电极(3)的横梁(32)两端分别与激励单元(2)电连接。 |
