| 发明名称 | 导电薄膜、其制备方法及应用 | ||
| 摘要 | 一种导电薄膜，包括层叠的MZO层及DCu2O2层，其中，MZO为掺铝的氧化锌、掺镓的氧化锌或掺铟的氧化锌，D为Mg、Ca、Sr或Ba。上述导电薄膜通过在MZO层的表面沉积高功函的P型氧化物薄膜制备双层导电薄膜，既能保持MZO层的良好的导电性能，又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。 | ||
| 申请公布号 | CN103422064A | 申请公布日期 | 2013.12.04 |
| 申请号 | CN201210148997.6 | 申请日期 | 2012.05.14 |
| 申请人 | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司 | 发明人 | 周明杰;王平;陈吉星;张振华 |
| 分类号 | C23C14/35(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;H01L51/52(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/35(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 何平;生启 |
| 主权项 | 一种导电薄膜，其特征在于，包括层叠的MZO层及DCu2O2层，其中，MZO为掺铝的氧化锌、掺镓的氧化锌或掺铟的氧化锌，D为Mg、Ca、Sr或Ba。 | ||
| 地址 | 518100 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层 | ||