静电夹盘及其制造方法

摘要

在一种静电夹盘之制造方法中，该方法包括：提供一静电夹持部之步骤，该静电夹持部包括一被施加电压之电极及一覆盖该电极之膜状绝缘层；接合一弹性层至该静电夹持部上之步骤；以及接合一金属基底至该弹性层上之步骤，以便在该金属基底之一表面上所形成之凹部面对该弹性层。