| 摘要 |
본 발명은 서로 다른 방향으로 형성된 대기도입구와 유체도입구를 구비하는 하우징; 상기 하우징의 내부공간에 배치되며, 대기가 통과할 수 있도록 관통홀을 구비하는 기판; 및 대기압에 대한 유체의 상대적인 압력을 측정하기 위하여, 상기 관통홀을 덮도록 상기 기판 상에 실장되되, 상부는 상기 유체도입구로부터 유입되는 유체의 압력이 인가되며, 하부는 상기 관통홀을 통하여 대기에 노출되는, 압력센서칩;을 포함하고, 상기 내부공간은 상기 기판을 기준으로 상부 영역과 하부 영역으로 구분되며, 상기 상부 영역은 상기 압력센서칩이 배치되는 제 1 내부영역과 대기가 통과할 수 있는 제 2 내부영역으로 구분되는, 압력센서장치 및 그 제조방법을 제공한다. |
