| 摘要 |
특히 파워를 제어하고 및/또는 고주파 전력 발생기의 출력 임피던스의 임피던스를 로드(load), 특히 플라즈마 방전의 임피던스와 매칭시키기 위한 제어 장치(6)에 있어서, a. 제1 타겟 값(14) 및 제1 실제 값(12) 및 정정 값(15)이 공급되는 제1 제어 유닛(13) ― 상기 제1 제어 유닛(13)은 정정 값(15)을 고려함으로써 제1 조정 값(22)을 발생시키기 위해 셋업됨 ― , b. 제어 값(24)이 공급되고 상기 제어 값(24) 및 디폴트 값(default value)(17)을 고려함으로써 정정 값을 결정하기 위해 셋업되는, 정정 값을 결정하기 위한 디바이스(16)를 포함하고, c. 상기 정정 값을 결정하기 위한 디바이스 및 상기 제1 제어 유닛은 상기 제어 값(24)이 상기 디폴트 값(17)으로부터 벗어날 때, 상기 제1 실제 값(12)이 상기 제1 제어 유닛(6)의 조정 상태에서의 상기 제1 타겟 값(14)으로부터 벗어나게 상기 정정 값(15)이 상기 제1 제어 유닛(16)에 영향을 미치도록 설계된다. |
