| 摘要 |
一种无电极与薄膜污染之大面积大气电浆镀膜装置，系可应用于可弯曲基料，主要系由至少一以上之垂直式平面型大面积氮气大气电浆活化电极及其高电压电源、至少一以上之垂直式平面型大面积氮气大气电浆镀膜电极及其高电压电源、至少一以上之长线型前驱物均匀喷出机构及其前驱物产生单元、一卷轴式镀膜基材移动机构、以及一负气压镀膜腔体等所构成。除了可达到完全避免电极内部被前驱物污染及镀膜基材被电极外部脱落之微粒与小薄膜碎片及镀膜腔内之空浮(Aerosols)等污染外，并可达到大面积卷轴式基材之均匀镀膜，适合作卷轴式基材连续镀膜生产，俾以达到提升品质、增加产量与降低成本之目的者。 |
