发明名称 |
一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板及显示装置 |
摘要 |
本发明提供了一种薄膜晶体管及其制作方法、阵列基板及显示装置,涉及显示技术领域。解决了现有的薄膜晶体管受限于制作工艺,沟道长度大,薄膜晶体管的开态电流小的问题。一种薄膜晶体管,包括设置在衬底基板上的栅极、栅绝缘层、有源层以及相互绝缘的第一电极和第二电极;其中,沿垂直所述衬底基板的方向,所述第一电极设置在所述有源层靠近基板的一侧,所述第二电极设置在所述有源层远离基板的一侧,且所述第一电极和所述第二电极与所述有源层接触;其中,所述栅极与所述第一电极同层设置,且所述栅极与所述第一电极绝缘。 |
申请公布号 |
CN103413834A |
申请公布日期 |
2013.11.27 |
申请号 |
CN201310316885.1 |
申请日期 |
2013.07.25 |
申请人 |
北京京东方光电科技有限公司 |
发明人 |
张文余;谢振宇;田宗民;李婧 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01)I;H01L29/10(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01)I |
代理机构 |
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 |
代理人 |
申健 |
主权项 |
一种薄膜晶体管,包括设置在衬底基板上的栅极、栅绝缘层、有源层以及相互绝缘的第一电极和第二电极;其特征在于,沿垂直所述衬底基板的方向,所述第一电极设置在所述有源层靠近基板的一侧,所述第二电极设置在所述有源层远离基板的一侧,且所述第一电极和所述第二电极与所述有源层接触;其中,所述栅极与所述第一电极同层设置,且所述栅极与所述第一电极绝缘。 |
地址 |
100176 北京市大兴区北京市经济技术开发区西环中路8号 |