| 发明名称 | 一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，包括真空室、设置在真空室内的旋转台、设置在真空室外的旋转台驱动机构，所述的旋转台包括旋转轴、对称设置在旋转轴两侧的台车传动机构，所述的旋转台驱动机构包括电机、采集旋转台转动角度信号的光栅尺，所述的真空室的顶部设有拖链。采用上述结构，本实用新型具有以下优点：1.结构简单合理、性能稳定、使用寿命长、安装更换方便；2.与传统的带传动方式相比较，本实用新型的传动精度要比带传动的精度高出很多。 | ||
| 申请公布号 | CN203307428U | 申请公布日期 | 2013.11.27 |
| 申请号 | CN201320361545.6 | 申请日期 | 2013.06.24 |
| 申请人 | 芜湖真空科技有限公司 | 发明人 | 薛辉;昌江 |
| 分类号 | C23C14/50(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/50(2006.01)I |
| 代理机构 | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人 | 马荣 |
| 主权项 | 一种真空镀膜机的真空室旋转传送机构，其特征在于：包括真空室（5）、设置在真空室（5）内的旋转台、设置在真空室（5）外的旋转台驱动机构，所述的旋转台包括旋转轴（4）、对称设置在旋转轴（4）两侧的台车传动机构（7），所述的旋转台驱动机构包括电机（2）、采集旋转台转动角度信号的光栅尺（1），所述的真空室（5）的顶部设有拖链（9）。 | ||
| 地址 | 241009 安徽省芜湖市经济技术开发区银湖北路科创中心B-302 | ||