晶圆箱缓冲垫

摘要

一种晶圆箱缓冲垫，系包覆设于至少一晶圆箱之二侧，于搬运途中固定晶圆箱并达到保护之功效，其有一顶面、一对第一侧面及一对第二侧面，该顶面、该对第一侧面及该对第二侧面系相互连接形成晶圆缓冲垫，且自该顶面向内凹设有至少一容置槽，于顶面更设有复数个第一沟槽、复数个第二沟槽及复数个第三沟槽，该等第一沟槽与该等第二沟槽系分设于顶面且位于容置槽之周缘，该等第三沟槽位于该等第一沟槽及/或该等第二沟槽之邻侧，透过上述之该等沟槽提升该晶圆箱缓冲垫之耐撞击功效，并可有效分担受力，使该晶圆箱缓冲垫不易变形损坏，以保护晶圆箱及其内之晶圆元件。