一种表面高反薄板材厚度测量仪

摘要

一种表面高反薄板材厚度测量仪，包括调整垫脚、钢架底座、平台、固定横梁、工件承载台、Y轴、X轴、Z轴、上接触式测头和下接触式测头。本发明专为薄板材厚度测量而设计，结构简单，操作方便，性价比高，为半导体、太阳能、光学玻璃等行业中材料表面具有高亮度反光特性的高端产品厚度测量提供优化解决方法。

主权项

一种表面高反薄板材厚度测量仪，其特征在于，包括：调整垫脚；钢架底座，所述的钢架底座设在调整垫脚上；平台，所述的平台设在钢架底座上；固定横梁，所述的固定横梁设在平台上；工件承载台，所述的工件承载台设在固定横梁的上方；Y轴，所述的Y轴及其动板固定在平台上且其运动方向与固定横梁相互垂直，Y轴动板连接工件承载台；X轴，所述的X轴及其动板固定在固定横梁上、与Y轴相互垂直；Z轴，所述的Z轴及其动板通过Z轴安装座设在横梁的上方、垂直于平台；上接触式测头，所述的上接触式测头固定在Z轴动板上；下接触式测头，所述的下接触式测头通过安装座固定在横梁的上横条上。