发明名称 |
一种用于光刻胶瓶的导管 |
摘要 |
一种用于光刻胶瓶的导管,包括:主导管装置,进一步包括一体成型的卡扣端和导管端,卡扣端上间隔设置环形凹槽,导管端之紧邻卡扣端一侧设置光阻管路接口,导管端之异于光阻管路接口一侧设置光阻入口;护管装置,进一步包括独立设置并可通过螺旋方式连接的卡扣端护管和导管端护管,卡扣端护管包括柱状壳体以及分别设置在柱状壳体两侧的卡扣装置和光阻管路容置空间,卡扣装置与主导管装置之卡扣端对应设置。本发明用于光刻胶瓶的导管通过在主导管装置外侧设置护管装置,且主导管装置通过设置不同环形凹槽实现伸缩功能,不仅可以有效的避免所述光刻胶袋对所述导管的堵塞,防止光阻浪费,降低生产成本,而且实用性好、操作便利,推广性强。 |
申请公布号 |
CN103400785A |
申请公布日期 |
2013.11.20 |
申请号 |
CN201310354757.6 |
申请日期 |
2013.08.14 |
申请人 |
上海华力微电子有限公司 |
发明人 |
徐纯;林晓瑜;刘开来 |
分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/67(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
陆花 |
主权项 |
一种用于光刻胶瓶的导管,其特征在于,所述导管包括:主导管装置,所述主导管装置进一步包括一体成型的卡扣端和导管端,所述卡扣端上间隔设置环形凹槽,所述导管端之紧邻所述卡扣端一侧设置光阻管路接口,所述导管端之异于所述光阻管路接口一侧设置光阻入口;护管装置,所述护管装置进一步包括独立设置并可通过螺旋方式连接的卡扣端护管和导管端护管,所述卡扣端护管包括柱状壳体以及分别设置在所述柱状壳体两侧的卡扣装置和光阻管路容置空间,所述卡扣装置与所述主导管装置之卡扣端对应设置。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区高科技园区高斯路568号 |