Mikromechanisches Bauelement

摘要

Bauelement mit mindestens einer auf einem Siliziumsubstrat strukturierten mikromechanischen Oberflächenstruktur (22) und einem die wenigstens eine Oberflächenstruktur (22) abdeckenden Kappenwafer (14), wobei der Kappenwafer (14) von einem Glaswafer (24) gebildet ist, wobei auf der dem Kappenwafer (14) zugewandten Seite des Siliziumsubstrats (16) ein planarisierter Verbindungereich (28) vorhanden ist, der die Oberflächenstruktur (22) umgreift und der Verbindungsbereich (28) und die Oberflächenstruktur (22) aus einer polykristallinen Siliziumschicht (20) herausgebildet ist, die zumindest im Verbindungsbereich hochwertig planarisiert ist und der Kappenwafer (14) mittels einer unmittelbaren Fügeverbindung ohne Anordnung von haftvermittelnden Zwischenschicht mit der polykristallinen Siliziumschicht (20) verbunden ist.