晶圆片生产工序间的双面刷洗设备

摘要

本发明公开了一种晶圆片生产工序间的双面刷洗设备，其中，双面刷洗装置包括刷洗支座、刷洗机构和第一驱动机构，刷洗支座安装在机架上，刷洗机构具有多对同步转动的刷洗轴组件和分别套装在相应的刷洗轴组件上的毛刷，并且相邻的毛刷位于待洗晶圆片的两侧，刷洗轴组件可旋转地支承在刷洗支座上，第一驱动机构驱动刷洗轴组件旋转；每个毛刷张开机构对应一对刷洗轴组件，毛刷张开机构包括转轴、摆臂和摆缸，摆缸通过摆缸固定板安装在机架上，摆缸与转轴活动连接，转轴可旋转地支承在刷洗支座上，摆臂的一端固定连接在转轴上，摆臂的另一端与该对刷洗轴组件的其中一个固定连接。本发明能够使晶圆片表面加工过程中产生的颗粒污染物双面同步刷洗，代替了人工刷洗的传统工艺。

主权项

一种晶圆片生产工序间的双面刷洗设备，其特征在于：它包括机架（1）、控制系统（2）、晶圆片收纳装置（3）和活性剂供给装置（4）；还包括双面刷洗装置（5），双面刷洗装置（5）包括刷洗支座（5‑1）、刷洗机构和第一驱动机构，刷洗支座（5‑1）安装在机架（1）上，刷洗机构具有多对同步转动的刷洗轴组件（5‑2）和分别套装在相应的刷洗轴组件（5‑2）上的毛刷（5‑3），并且相邻的毛刷（5‑3）位于待洗晶圆片的两侧，刷洗轴组件（5‑2）可旋转地支承在刷洗支座（5‑1）上，第一驱动机构驱动刷洗轴组件（5‑2）旋转；还包括具有若干组喷嘴（6‑1）的移动喷淋装置（6），每组喷嘴（6‑1）对应一对刷洗轴组件（5‑2），并且位于该对刷洗轴组件（5‑2）的上方；还包括驱动辊装置（7），驱动辊装置（7）包括第二驱动机构和多根驱动辊（7‑1）以及多组成对的摩擦轮（7‑2），每组成对的摩擦轮（7‑2）对应一对刷洗轴组件（5‑2），并且位于该对刷洗轴组件（5‑2）的下方以便支撑该处待洗晶圆片并使其旋转，摩擦轮（7‑2）分别套装在相应的驱动辊（7‑1）上，第二驱动机构驱动驱动辊（7‑1）旋转；还包括多个毛刷张开机构（8），每个毛刷张开机构对应一对刷洗轴组件（5‑2），毛刷张开机构包括转轴（8‑1）、摆臂（8‑2）和摆缸（8‑3），摆缸（8‑3）通过摆缸固定板（8‑4）安装在机架（1）上，摆缸（8‑3）与转轴（8‑1）活动连接，转轴（8‑1）可旋转地支承在刷洗支座（5‑1）上，摆臂（8‑2）的一端固定连接在转轴（8‑1）上，摆臂（8‑2）的另一端与该对刷洗轴组件（5‑2）的其中一个固定连接以便该刷洗轴组件（5‑1）绕摆臂（8‑2）旋转使该对刷洗轴组件（5‑2）分离。