具有导热装置的坩埚

摘要

本发明提供一种具有导热装置的坩埚，包括：坩埚本体及设置于坩埚本体内的导热装置，所述导热装置呈树状，其包括散热主干及设于散热主干上的数层散热枝干，每层散热枝干包括数个枝干单元，所述枝干单元由所述散热主干的外表面向外延伸设置。本发明的具有导热装置的坩埚，通过在坩埚本体中设置树状导热装置，将热量传递到坩埚本体的各个方向，进而使得在蒸镀时，置于坩埚本体内的有机材料能均匀受热，有效避免现有技术中，由于有机材料受热不均而导致的部分有机材料裂解的现象，有效提高蒸镀效率及蒸镀效果。

主权项

一种具有导热装置的坩埚，其特征在于，包括：坩埚本体（2）及设置于坩埚本体（2）内的导热装置（4），所述导热装置（4）呈树状，其包括散热主干（42）及设于散热主干（42）上的数层散热枝干（44），每层散热枝干（44）包括数个枝干单元（442），所述枝干单元（442）由所述散热主干（42）的外表面向外延伸设置。