离子植入系统以及离子束角度测量装置

摘要

一种用以决定一离子束至一工件表面之二入射角之系统、装置及方法。具有一细长第一及第二感测器之测量装置被耦接至一平移机构，其中，该第一感测器以垂直于该平移之第一方向进行延伸，而该第二感测器以一倾斜于该第一感测器之角度延伸。该第一及第二细长感测器在分别于第一时间及第二时间通过该离子束时感测一或多个离子束特性，并且可运作一控制器以至少部分地根据该第一及第二感测器于第一及第二时间下所感测到之一或多个离子束特性来决定该离子束之第一及第二入射角。