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Mikroskopische Einrichtung (100) zur dreidimensionalen Lokalisierung von punktförmigen Objekten (30, 114) in einer Probe (112), umfassend: eine Detektionsoptik (36, 108), die in einem Objektraum angeordnete punktförmige Objekte (30, 114) jeweils in Form einer dreidimensionalen Fokuslichtverteilung in einen Bildraum abbildet, eine Farbtrennvorrichtung (126), die das von der Detektionsoptik (36, 108) zum Abbilden der punktförmigen Objekte (30, 114) erzeugte Licht in mindestens zwei separate Lichtbündel teilt, deren Lichtwellenlängen in unterschiedlichen Wellenlängenbereichen liegen, mindestens zwei in dem Bildraum angeordnete Detektoreinheiten (146, 148), von denen eine Detektoreinheit das eine der beiden Lichtbündel und die andere Detektoreinheit das andere der beiden Lichtbündel empfängt, wobei jede Detektoreinheit (146, 148) eine zur Einfallsrichtung des jeweiligen Lichtbündels senkrecht angeordnete Detektionsfläche (38, 150, 152) zum Erfassen von Lichtflecken (42) aufweist, die jeweils einen ebenen Schnitt durch die zugehörige Fokuslichtverteilung darstellen, eine Auswerteeinheit (154), die durch Auswerten des jeweiligen auf der jeweiligen Detektionsfläche (38, 150, 152) erfassten Lichtflecks (42) eine laterale x-y-Position des zugehörigen punktförmigen Objektes (30, 114) innerhalb einer zu einer Schärfenebene (40) parallelen Objektebene und eine axiale z-Position des zugehörigen punktförmigen Objektes (30, 114) relativ zu der Schärfenebene (40) in Richtung einer senkrecht zu der Schärfenebene (40) liegenden optischen Achse (O) ermittelt, wobei die jeweilige Schärfenebene (40) eine in dem Objektraum liegende Ebene ist, die zu einer in dem Bildraum liegenden Detektionsebene, in der die jeweilige Detektionsfläche (38, 150, 152) angeordnet ist, optisch konjugiert ist, wobei in der Auswerteinheit (154) für mindestens einen der beiden Wellenlängenbereiche mindestens ein z-Positionskorrekturwert gespeichert ist, der einen Farblängsfehler der Detektionsoptik (36, 108) in diesem Wellenlängenbereich angibt, und die Auswerteeinheit (154) die in dem jeweiligen Wellenlängenbereich ermittelte z-Position des jeweiligen punktförmigen Objektes (30, 114) mit dem zugehörigen z-Positionskorrekturwert korrigiert.
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