发明名称 |
一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器及其制备方法 |
摘要 |
本发明提供了一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器,包括基底、下包层、上包层、直波导和下光栅,下光栅的宽度按照钟形包络函数逐渐增加,位于端部的光栅线的宽度小于直波导的宽度,位于中部的光栅线的宽度大于直波导的宽度。本发明还提供了该滤波器的制备方法:在基底上涂覆下包层;制作抗刻蚀层;旋涂负性光刻胶;进行掩膜曝光;干涉出下光栅的结构;对下光栅区域进行显影,进行腐蚀;刻蚀出下光栅;去除余下的负性光刻胶,进行腐蚀;旋转涂覆芯层材料;蒸镀铝层;进行直波导的光刻;进行直波导以外区域进行显影,再进行腐蚀,制作直波导;旋转涂覆上包层,进行固化和真空干燥。该滤波器具有高反射率、高边模抑制比的切趾效果。 |
申请公布号 |
CN102662218B |
申请公布日期 |
2013.10.30 |
申请号 |
CN201210175164.9 |
申请日期 |
2012.05.31 |
申请人 |
东南大学 |
发明人 |
胡国华;闫以建;恽斌峰;钟嫄;崔一平 |
分类号 |
G02B6/34(2006.01)I;G02B6/02(2006.01)I;G02B6/13(2006.01)I |
主分类号 |
G02B6/34(2006.01)I |
代理机构 |
南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 |
代理人 |
柏尚春 |
主权项 |
一种皱褶式切趾波导布拉格光栅滤波器,包括基底(5)、下包层(1)、上包层(2)、直波导(3)和由光栅线组成的下光栅(4),下包层(1)固定连接在基底(5)的上表面,下光栅(4)固定连接在直波导(3)的底面,直波导(3)的底面和下包层(1)的顶面连接,直波导(3)的顶面和上包层(2)的底面连接,其特征在于,所述的下光栅(4)中的光栅线呈条状,且光栅线之间相互平行,下光栅(4)沿直波导(3)的竖向中分线相互对称;下光栅(4)的宽度从两端向中间按照钟形包络函数逐渐增加,且位于下光栅(4)端部的光栅线的宽度小于直波导(3)的宽度,位于下光栅(4)中部的光栅线的宽度大于直波导(3)的宽度;所述的直波导(3)的宽度恒定。 |
地址 |
210096 江苏省南京市四牌楼2号 |