| 发明名称 | 基板处理装置和基板处理方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供使印刷在基板上的溶液立刻固化的基板处理装置和基板处理方法。基板处理装置包括：支承构件（100），用于配置基板；涂覆单元组件（200），包含向基板涂覆溶液的涂覆单元（200a）；固化单元（300），以能够向支承构件（100）的两侧移动的方式接合，向涂覆在基板上的溶液提供吸入压力。涂覆单元（200a）包括：涂覆移送构件（201a），以可以向支承构件（100）的两侧移动的方式接合；涂覆构件（205a），与涂覆移送构件（201a）接合，以喷墨打印方式向基板涂覆溶液。 | ||
| 申请公布号 | CN103357549A | 申请公布日期 | 2013.10.23 |
| 申请号 | CN201310110379.7 | 申请日期 | 2013.04.01 |
| 申请人 | 细美事有限公司 | 发明人 | 朴铁镐;金大星 |
| 分类号 | B05C9/08(2006.01)I;B05C11/00(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I | 主分类号 | B05C9/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人 | 李雪春;王维玉 |
| 主权项 | 一种基板处理装置，其特征在于，包括：支承构件，用于配置基板；涂覆单元组件，包含向所述基板涂覆溶液的涂覆单元；固化单元，以能够向所述支承构件的两侧移动的方式接合，向涂覆在所述基板上的所述溶液提供吸入压力；所述涂覆单元包括：涂覆移送构件，以能够向所述支承构件的两侧移动的方式接合；涂覆构件，与所述涂覆移送构件接合，以喷墨打印方式向所述基板涂覆所述溶液。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||