一种发光薄膜、其制备方法和应用

摘要

本发明适用于发光技术领域，提供了一种发光薄膜、其制备方法和应用。该发光薄膜包括铈掺杂的钇铝石榴石薄膜，所述铈掺杂的钇铝石榴石薄膜中含有金属颗粒。该制备方法包括：将金属颗粒与铈掺杂钇铝石榴石荧光粉混合；将所述的金属颗粒与铈掺杂钇铝石榴石荧光粉的混合物烧结，形成溅射靶材；将溅射靶材利用磁控溅射方法成膜；成膜后将薄膜在还原气氛下退火处理，即得到发光薄膜。该发光薄膜具有发光强度强、发光率高的优点，可以用于发光元件、显示装置或发光装置中。

主权项

一种发光薄膜，包括铈掺杂的钇铝石榴石薄膜，其特征在于，所述铈掺杂的钇铝石榴石薄膜中含有金属颗粒；其中，所述金属颗粒的材质为银、金、铝、铂、钯或铜中的至少一种，且所述金属颗粒与铈掺杂的钇铝石榴石的摩尔比例为0.01∶1～0.3∶1。