压印用之滚轮的形成方法

摘要

一种微奈米压印用之滚轮的形成方法，涂布一光阻层于具有圆柱体表面的一铝制滚轮并进行一图案移转处理于光阻层上后，形成具有一图案的光阻层于铝制滚轮。之后进行一阳极氧化铝处理于具有图案的光阻层之铝制滚轮上。上述步骤重复进行可得到微奈米孔径结构的滚轮，应用于滚轮对滚轮的压印制程时，此滚轮可用以形成任意尺寸的母版以利大面积的转印。