摘要 |
Способ измерения длин, основанный на измерении межмодовой частоты интерферометра Фабри-Перо, построенный на базе измеряемой длины, отличающийся тем, что используют излучение одночастотного перестраиваемого лазера и известное значение межмодовой частоты эталона Фабри-Перо, а величину измеряемой длины определяют по значению межмодовой частоты интерферометра Фабри-Перо, точное определение которого осуществляют путем сравнения ее с известной межмодовой частотой эталона Фабри-Перо, облучаемых одновременно интерферометр Фабри-Перо и эталон Фабри-Перо одночастотным перестраиваемым лазером. |