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发明名称
A HIGH POWER PULSED MAGNETRON SPUTTERING METHOD AND A MAGNETRON SPUTTERING APPARATUS
摘要
申请公布号
HK1180532(A2)
申请公布日期
2013.10.18
申请号
HK20130101003
申请日期
2013.01.23
申请人
HONG KONG PRODUCTIVITY COUNCIL
发明人
LO, WAI YIN;TSE, KOON YIU;ZHANG, ZHONGXIANG;YICK, MAN LUNG;LAU, YIU HUNG
分类号
C23C
主分类号
C23C
代理机构
代理人
主权项
地址
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