基板检测装置与方法

摘要

本发明公开一种基板检测装置与基板检测方法。基板检测装置包含光发射器、多个反射镜单元以及光接收器。光发射器用以产生光束。多个反射镜单元用以反射光束，由此使光束在多个基板之间的间隔中沿平行于基板的平面的方向传递。光接收器用以根据是否接收到光束产生破片侦测输出。

主权项

一种基板检测装置，适用于检测一容置载具中的多片基板是否出现破片，其中该些基板面对面地排列于该容置载具中，该基板检测装置包含：光发射器，用以产生一光束；多个反射镜单元，用以反射该光束，由此使该光束在该些基板之间的间隔中沿平行于该些基板的平面的方向传递；以及光接收器，用以根据是否接收到该光束产生一破片侦测输出。