具有抗反射特性的底层组成物

摘要

本发明提供一用于一微影方法之具有良好抗反射性之底层组成物。此组成物具有优异之光学特性、机械特性，及蚀刻选择性，且可使用一旋转涂敷方法涂敷。有利地，此组成物可应用于短波长之微影方法且显示最小之剩余酸。