An eine indirekte Kühlvorrichtung angepasstes Target

摘要

Die Erfindung betrifft ein Target, welches als Materialquelle für ein Abscheideverfahren aus der Gasphase ausgebildet ist mit einer Vorderseite und einer Rückseite, das dadurch gekennzeichnet ist, dass an der Rückseite eine selbstklebende Karbonfolie aufgeklebt ist. Das Target kann als Materialquelle für ein Sputtering-Verfahren und/oder für ein Funkenverdampfungs-verfahren ausgebildet sein. Besonders vorteilhaft wird das Target in einer Beschichtungsquelle mit indirekter Kühlung eingesetzt, wobei die die selbstklebende Karbonfolie flächig in Kontakt mit einer Membrane steht welche Teil eines Kühlkanals ist.