发明名称 Semiconductor wafer having a thin die and tethers
摘要
申请公布号 EP1335411(B1) 申请公布日期 2013.10.09
申请号 EP20030000709 申请日期 2003.01.13
申请人 CONTINENTAL AUTOMOTIVE SYSTEMS, INC. 发明人 CHEN, SHIUH-HUI STEVEN;ROSS, CARL;GARZA, RAYMOND;TURALSKI, STEFAN
分类号 H01L21/67;G01L9/00;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 H01L21/67
代理机构 代理人
主权项
地址