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发明名称 THIN FILM OF ALUMINUM NITRIDE AND PROCESS FOR PRODUCING THE THIN FILM OF ALUMINUM NITRIDE
摘要
申请公布号 EP2246458(B1) 申请公布日期 2013.10.09
申请号 EP20090714366 申请日期 2009.02.18
申请人 SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD. 发明人 SATOH, ISSEI;MIZUHARA, NAHO;TANIZAKI, KEISUKE;MIYANAGA, MICHIMASA;SAKURADA, TAKASHI;YAMAMOTO, YOSHIYUKI;NAKAHATA, HIDEAKI
分类号 C23C14/06;C23C14/28;C30B23/02;C30B29/38;C30B29/40 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
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