发明名称 一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料及其制备方法
摘要 本发明公开了一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料及其制备方法。该薄膜材料为n型半导体,分子式为BiFe1-xAxO3,其中x为0.0005-0.5,A为Nb或Mn元素中的一种或两种,且其厚度为15-500nm,电阻率为8.6×10-5-3×10-3Ω·cm,n型载流子浓度为1.4×1019-1.6×1022cm-3。本发明通过调节掺杂量,精确调控其电阻率、n型载流子浓度等半导体性能,在电子元器件、光电探测器和太阳能电池等领域具有巨大的实际应用价值。
申请公布号 CN103343315A 申请公布日期 2013.10.09
申请号 CN201310223929.6 申请日期 2013.06.04
申请人 南京理工大学 发明人 骆溁;陈江鹏;马赫;袁国亮;刘治国
分类号 C23C14/06(2006.01)I 主分类号 C23C14/06(2006.01)I
代理机构 南京理工大学专利中心 32203 代理人 朱显国
主权项 一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料,其特征在于所述薄膜材料为n型半导体,分子式为 BiFe1‑xAxO3,其中x为0.0005‑0.5,A为Nb或Mn元素中的一种或两种。
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