发明名称 vacuum clamping apparatus
摘要
申请公布号 KR20130005776(U) 申请公布日期 2013.10.07
申请号 KR20130007702U 申请日期 2013.09.13
申请人 发明人
分类号 B23Q3/08;B25B11/00;H01L21/687 主分类号 B23Q3/08
代理机构 代理人
主权项
地址