发明名称 END POINT DETECTION FOR BACK CONTACT SOLAR CELL LASER VIA DRILLING
摘要 <p>Methods and structures for fabricating photovoltaic back contact solar cells having multilevel metallization using laser via drilling end point detection are provided.</p>
申请公布号 WO2013149081(A1) 申请公布日期 2013.10.03
申请号 WO2013US34483 申请日期 2013.03.28
申请人 SOLEXEL, INC. 发明人 RANA, VIRENDRA, V.;MOSLEHI, MEHRDAD, M.;ANBALAGAN, PRANAV;DESHAZER, HEATHER;COUTANT, SOLENE;RATTLE, BENJAMIN, E.;KRAMER, KARL-JOSEF;KAPUR, PAWAN
分类号 H01L31/042;B23K26/36;G01N21/65;H01L31/18 主分类号 H01L31/042
代理机构 代理人
主权项
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