可回火三层防反射涂层、包括可回火三层防反射涂层的涂层制品和/或制作其的方法

摘要

涂层制品包括可回火防反射(AR)涂层，该涂层利用在AR涂层中具有残余压应力的中间折射率和低折射率(折射率“n”)层。在某些示例性实施例中，涂层从玻璃基板向外可包括以下层：氧氮化硅(SiOxNy)中间折射率层/高折射率层/低折射率层。在某些示例性实施例中，根据高折射率层和基板的化学和光学性质，AR涂层的中间折射率层和低折射率层被选出以造成净的残余压应力，从而在涂层制品被回火和/或加热处理时优化防反射涂层的整体性能。

主权项

一种制作涂层制品的方法，所述方法包括以下步骤：提供玻璃基板；直接或间接地在基板的第一主表面上安置硅包容性中间折射率层；在中间折射率层之上并接触中间折射率层安置高折射率层，所述高折射率层具有至少85nm的厚度；在高折射率层之上并接触高折射率层安置低折射率层；和对上安置有中间折射率层、高折射率层、低折射率层的基板进行热处理，其中，所述涂层制品在沉积态和热处理态之间具有小于3的ΔE*值。