一种开有斜槽的石英舟结构

摘要

本实用新型涉及一种开有斜槽的石英舟结构，包括底座，底座上装置舟体，于舟体的两端设置可与搬运器插接的安装孔，在舟体上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔。本实用新型通过将舟体设计为弧形，同时将舟体上的槽设置成与垂直方向呈一定角度的斜槽，使硅片的排列方向一致，提高硅片与舟体的接触面积，避免以往因槽磨损而出现硅片倾斜或粘接的情况，并大大降低了工艺碎片发生的几率，同时在舟体上还开有导气孔，大大提高了气体的扩散均匀性。

主权项

一种开有斜槽的石英舟结构，其特征在于：包括底座（4），底座（4）上装置舟体（2），于所述舟体（2）的两端设置可与搬运器插接的安装孔（3），在舟体（2）上开有多个可供硅片插入的安装槽及导气孔（5）。