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<p>Es werden ein System und entsprechende Verfahren offenbart, um eine Schicht von Anfeuchtfluid auf einer wiederabbildungsfähigen Oberfläche eines Bildgebungselements in einem Lithographiesystem mit variablen Daten durch Kondensation abzuscheiden. Das Anfeuchtfluid in einem luftgetragenen Zustand wird in der Nähe der wiederabbildungsfähigen Oberfläche in einen Kondensationsbereich eingeführt. Die Bedingungen in dem Kondensationsbereich sind derart, dass das luftgetragene Anfeuchtfluid bevorzugt auf der wiederabbildungsfähigen Oberfläche in einer präzise gesteuerten Menge kondensiert, um dadurch eine präzise gesteuerte Schicht von Anfeuchtfluid einer gewünschten Dicke über der wiederabbildungsfähigen Oberfläche zu bilden. Unter anderen Vorteilen wird eine bessere Druckqualität erzielt.</p> |
