具有复制的微结构化背衬的磨料制品以及其使用方法

摘要

本发明提供了一种磨料制品，所述磨料制品包括具有相对的第一主表面和第二主表面的柔性背衬。所述第一主表面包括多个磨粒，所述磨粒位于设置在所述第一主表面上面的至少一种粘结剂中。所述第二主表面包括具有凹陷部的复制的微结构。所述磨料制品还包括基本上包括在所述复制的微结构的所述凹陷部中的粘合剂。刚性基底可以与所述复制的微结构的至少一部分接触。还提供了一种使用所提供的制品对工件进行抛光的方法。

主权项

一种磨料制品，包括：柔性背衬，所述柔性背衬具有相对的第一主表面和第二主表面，其中所述柔性背衬的所述第二主表面的至少一部分包括具有凹陷部的复制的微结构；磨料层，所述磨料层包括保留在至少一种粘结剂中的多个磨粒，所述磨料层设置在所述柔性背衬的所述第一主表面上；以及粘合剂，其中所述粘合剂基本上包括在所述复制的微结构的所述凹陷部中。