发明名称 一种晶体硅太阳能电池扩散源配方
摘要 本发明公开了一种晶体硅太阳能电池扩散源配方,由源部分、表面活性剂和稀释剂组成,且所述源部分、表面活性剂和稀释剂三者按一定比例充分混合;所述源部分为磷酸偏磷酸、有机磷酸、硼酸、有机硼酸等酸类溶液中的一种或多种混合液;所述表面活性剂为甲醇、乙醇、乙二醇、丙三醇等醇类溶液中的一种或多种混合液;所述稀释剂为纯净水;所述源部分的比例为1%-5%,表面活性剂的比例为40%-50%,稀释剂的比例为30%-60%。这种晶体硅太阳能电池扩散源配方可以避免采用三氯氧磷作为扩散源,并且使用喷涂磷源的方式使表面磷源均匀分布,充分的保证了扩散后的硅片外观达到质量控制标准,方块电阻和少子寿命达到工艺生产的要求范围。
申请公布号 CN103325668A 申请公布日期 2013.09.25
申请号 CN201310218101.1 申请日期 2013.06.04
申请人 泰通(泰州)工业有限公司 发明人 初仁龙;费存勇;鲁伟明;王志刚;李省
分类号 H01L21/228(2006.01)I 主分类号 H01L21/228(2006.01)I
代理机构 常州市维益专利事务所 32211 代理人 王凌霄
主权项 一种晶体硅太阳能电池扩散源配方,其特征在于:由源部分、表面活性剂和稀释剂组成,且所述源部分、表面活性剂和稀释剂三者按一定比例充分混合。
地址 225312 江苏省泰州市九龙台商工业园姚家路