基于Y型腔正交偏振激光器的位移测量装置

摘要

本发明涉及一种基于Y型腔正交偏振激光器的位移测量方法及装置，包括带角锥棱镜的半外腔Y型腔正交偏振激光器、导轨、工作点选择与控制单元、信号采集与处理单元。待测物体运动时带动角锥棱镜沿导轨移动，改变Y型腔正交偏振激光器的P子段的几何长度，从而导致S子腔和P子腔光学长度差的变化，Y型腔正交偏振激光器中S偏振光和P偏振光的拍频频差也将发生变化，该拍频频差的变化值与待测物体的位移的大小成正比。本发明具有高分辨率、大动态范围、高线性度和直接数字式输出等特点。

主权项

一种基于Y型腔正交偏振激光器的位移测量装置，包括带角锥棱镜的半外腔Y型腔正交偏振激光器（100）、导轨（109）、工作点选择与控制单元（200）和信号采集与处理单元（300），其特征在于，带角锥棱镜的Y型腔正交偏振激光器（100）中的角锥棱镜（106）安装在导轨（109）上，并与待测物体固连，当待测物体运动时，可随待测物体沿导轨移动；工作点选择与控制单元（200）接收Y型腔正交偏振激光器的S子段和P子段输出的S偏振光和P偏振光，采用等光强的方法将两偏振态纵模稳定在增益曲线上关于中心频率对称的位置；它与Y型腔正交偏振激光器的氦氖放电管的阴极和阳极相连；它与Y型腔正交偏振激光器的第二压电陶瓷相连接；信号采集与处理单元（300）与Y型腔正交偏振激光器的共用段相连接，接收Y型腔正交偏振激光器的输出频差，并进行滤波、计数、运算和显示。