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发明名称
具最佳效能之压力控制系统
摘要
一种用以控制腔室中流体压力之压力控制系统,包含一压力感测器,其经组态以量测腔室中流体之压力,及一阀,其经组态以藉由调整来自腔室之流体的流动来控制腔室中之流体压力。此压力控制系统更包含一控制器,此控制器经组态以估计腔室之容积,并用以产生阀的一泵速率曲线。控制器进一步经组态以监视并修改泵速率曲线,以便维持泵速率曲线之斜率于至少一最小数值,并依据该压力感测器所测得之压力量测值,而使用该经修改之泵速率曲线来调整该阀之位置,以维持该腔室中该流体之压力于一所需之压力设定点。
申请公布号
TWI409604
申请公布日期
2013.09.21
申请号
TW096109421
申请日期
2007.03.20
申请人
MKS公司 美国
发明人
迪瓦克;希高登;张伯伦;路保罗
分类号
G05D16/20
主分类号
G05D16/20
代理机构
代理人
黄庆源 台北市大安区敦化南路1段245号8楼;何爱文 台北市大安区敦化南路1段245号8楼
主权项
地址
美国
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