一种晶体生长炉测温总成

摘要

本实用新型涉及一种晶体生长炉测温总成，包括晶体生长炉本体和红外测温仪，晶体生长炉本体包括水冷腔体、设置于水冷腔体底部的坩埚轴、设置于水冷腔体内部的加热器、侧面保温屏、底部保温屏和顶部保温屏，坩埚轴为空心轴，水冷腔体底部与坩埚轴的空心处对应位置设置有第一测温视窗，水冷腔体的侧面还设置有多个高度不同的第二测温视窗，侧面保温屏和加热器与第二测温视窗相同高度处均设置有透光孔；红外测温仪设置于第一测温视窗和第二测温视窗处。本实用新型可以对晶体生长炉中整体热场进行多点温度测量，从而可以准确反馈出晶体生长炉中整体热场的合理性以及各个位置处的温度值与设计数据的偏差，从而为晶体生产和新设备的改进提供可靠数据。

主权项

一种晶体生长炉测温总成，包括晶体生长炉本体和红外测温仪（11），所述晶体生长炉本体包括水冷腔体（2）、设置于所述水冷腔体（2）底部用于支撑坩埚（4）的坩埚轴（13）、设置于所述水冷腔体（2）内部的加热器（3）、侧面保温屏（1）、底部保温屏（5）和顶部保温屏（12），其特征在于，所述坩埚轴（13）为空心轴，所述水冷腔体（2）底部与所述坩埚轴（13）的空心处对应位置设置有第一测温视窗，所述水冷腔体（2）的侧面还设置有多个位于不同高度且可与坩埚（4）侧面相对的第二测温视窗，且所述侧面保温屏（1）和所述加热器（3）上与所述第二测温视窗相同高度处均设置有透光孔；所述红外测温仪（11）通过调整支架设置于所述第一测温视窗和所述第二测温视窗处。