一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法

摘要

本发明涉及镀膜工艺技术领域，主要是一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统及其充气方法，包括进/出口室，进/出口室侧壁上装有真空检测元件，它由 5个气动蝶阀BV1～BV5， 2个过滤消声器，1个干燥压缩气罐及气体缓冲板组成。各组成元件之间通过不锈钢管道连接， BV1与BV2并联后与BV5和干燥压缩气罐串联，组成“Y”型充气结构，干燥压缩气罐位于“Y”型充气结构的下部，两过滤消声器分别与BV3、BV4串联后作为支路连接在“Y”型充气结构的两侧、BV1和BV2与BV5之间。气体缓冲板置于进/出口室内顶部。本发明能够减少水蒸汽进入真空腔室，加快腔室抽真空的速率；提高镀膜设备的环境适应性，提高镀膜质量，且结构简单，易于安装、拆卸。

主权项

一种用于真空镀膜设备的双气源充气系统，包括进/出口室，进/出口室侧壁上装有真空检测元件，其特征在于：该系统由 5个气动蝶阀BV1(2)、BV2(3)、BV3(4)、BV4(5)、BV5(6)， 2个过滤消声器(9)、(10)，1个干燥压缩气罐(11)及气体缓冲板(1)组成，进/出口室的壳体上设有两个充气口，通过两根不锈钢管道（12）连接气动蝶阀BV1（2）一端与气动蝶阀BV2（3）一端，气动蝶阀BV1(2)另一端与气动蝶阀BV2(3)一端通过管道并联后与气动蝶阀BV5(6)和干燥压缩气罐(11)串联，组成“Y”型充气结构，干燥压缩气罐(11)位于“Y”型充气结构的下端，两个过滤消声器(9)、(10)分别与气动蝶阀BV3(4)、BV4(5)串联后作为支路连接在“Y”型充气结构的两侧、气动蝶阀BV1(2)和BV2(3)与气动蝶阀BV5(6)之间；气体缓冲板(1)置于进/出口室内顶部，气体缓冲板（1）上设有若干数量的通气孔，所述通气孔规则分布在气体缓冲板（1）上，但不得与进/出口室顶部的充气口（13）相对。