药物吸入装置及其部件

摘要

一种药物吸入装置，所述药物吸入装置具有通过在离子轰击条件下的等离子体沉积施加的非金属涂层。

主权项

一种制造药物吸入装置的方法，所述方法包括在离子轰击条件下通过等离子体沉积在所述装置的至少一部分表面上形成非金属涂层的步骤，其中所述非金属涂层包含硅、氧和氢。