基板处理装置及其制造方法

摘要

本发明提供一种基板处理装置及其制造方法，制程设备之加工单元经模组化且经模组化之加工单元可拆卸地安置于主架中。根据此特征，可减小制造该制程设备所需的工作时间和工作劳动强度。此外，还可容易地执行加工单元中之每一者的维护/维修。