发明名称 | 用于从载体基质剥离产品基质的方法 | ||
摘要 | 本发明涉及一种用于从通过连接层(6)与产品基质(7)相连接的载体基质(3)剥离产品基质(7)的方法,其带有以下步骤、尤其以下过程:将溶剂(9)施加到载体基质(3)的背对连接层(6)的平侧(3o)上、溶剂(9)的流通部分流过载体基质(3)、主要通过流通部分至少部分地分离连接层(6)以及从载体基质(3)剥离产品基质(7)。 | ||
申请公布号 | CN103299416A | 申请公布日期 | 2013.09.11 |
申请号 | CN201180065137.X | 申请日期 | 2011.01.17 |
申请人 | EV 集团 E·索尔纳有限责任公司 | 发明人 | J.伯格拉夫 |
分类号 | H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/683(2006.01)I |
代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 陈浩然;谭祐祥 |
主权项 | 一种用于从通过连接层(6)与产品基质(7)相连接的载体基质(3)剥离所述产品基质(7)的方法,其带有以下步骤、尤其以下过程:‑ 将溶剂(9)施加到所述载体基质(3)的背对所述连接层(6)的平侧(3o)上,‑ 所述溶剂(9)的流通部分流过所述载体基质(3),‑ 尤其主要通过所述流通部分至少部分地分离所述连接层(6)以及‑ 从所述载体基质(3)剥离所述产品基质(7)。 | ||
地址 | 奥地利圣弗洛里安 |