发明名称 用于从载体基质剥离产品基质的方法
摘要 本发明涉及一种用于从通过连接层(6)与产品基质(7)相连接的载体基质(3)剥离产品基质(7)的方法,其带有以下步骤、尤其以下过程:将溶剂(9)施加到载体基质(3)的背对连接层(6)的平侧(3o)上、溶剂(9)的流通部分流过载体基质(3)、主要通过流通部分至少部分地分离连接层(6)以及从载体基质(3)剥离产品基质(7)。
申请公布号 CN103299416A 申请公布日期 2013.09.11
申请号 CN201180065137.X 申请日期 2011.01.17
申请人 EV 集团 E·索尔纳有限责任公司 发明人 J.伯格拉夫
分类号 H01L21/683(2006.01)I 主分类号 H01L21/683(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 陈浩然;谭祐祥
主权项 一种用于从通过连接层(6)与产品基质(7)相连接的载体基质(3)剥离所述产品基质(7)的方法,其带有以下步骤、尤其以下过程:‑ 将溶剂(9)施加到所述载体基质(3)的背对所述连接层(6)的平侧(3o)上,‑ 所述溶剂(9)的流通部分流过所述载体基质(3),‑ 尤其主要通过所述流通部分至少部分地分离所述连接层(6)以及‑ 从所述载体基质(3)剥离所述产品基质(7)。
地址 奥地利圣弗洛里安
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