合成碳纳米管的装置及方法

摘要

一种包括反应室、承载料盒、传送部、加热器、供气部和排气部的合成碳纳米管的装置。所述碳纳米管是在反应室中合成的。反应室具有基本垂直的长轴。承载料盒承载多个基板。传送部沿着基本平行于长轴的方向，将承载料盒装入反应室或从反应室中取出。加热器加热反应室。供气部向反应室供给合成碳纳米管用的气体。排气部从反应室排出剩余气体。碳纳米管可方便收集，反应室可有效管理，碳纳米管生产率高。

主权项

一种合成碳纳米管的装置，其特征在于，该装置包括：具有基本垂直的长轴的反应室；承载多个基板的承载料盒，催化剂金属粉放置在所选多个基板上；沿基本平行于所述长轴的方向传送所述承载料盒的传送部，以将所述承载料盒装到所述反应室内，或将所述承载料盒从所述反应室取出；用于加热所述反应室的加热器；向所述反应室供给合成所述碳纳米管用气体的供气部，其通过所述反应室的上部向所述反应室提供所述气体，且所述供气部包括：氢气存贮器、惰性气体存贮器及碳源气体存贮器，其中所述反应室包括：外壳体、及设于所述外壳体中的内壳体，所述内壳体包括多个注气孔以使所述气体经过所述注气孔流入所述内壳体；从所述反应室排出剩余气体的排气部，其通过所述反应室的下部排出所述剩余气体；一个设于所述反应室下方的备用室，所述承载料盒在装入所述反应室之前或从所述反应室中取出之后，放置于所述备用室中，所述备用室包括门，所述基板通过所述门装到所述备用室内或从所述备用室中取出；及用于控制所述反应室的压力的调压部。