基于状态的功率和频率调节

摘要

本发明描述了用于基于状态的功率和频率调节的系统和方法。系统的主发生器包括用于将主射频（RF）信号提供给电极的主功率供应器。主发生器进一步包括自动频率控制单元（AFC）以在脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给主功率供应器。该系统的从发生器包括用于将从RF信号提供给电极的从功率供应器。从发生器还包括AFC以在脉冲信号处于第一状态时将第二频率输入提供给从功率供应器。从发生器包括AFC以在脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给从功率供应器。该系统包括用于产生脉冲信号的数字脉冲源。

主权项

一种系统，其包括：耦合到电极的主发生器，所述主发生器包括用于将主RF信号提供给所述电极的主功率供应器，所述主发生器进一步包括自动频率控制单元以在脉冲信号处于第一状态时将第一频率输入提供给所述主功率供应器；耦合到所述电极的从发生器，所述从发生器包括用于将从RF信号提供给所述电极的从功率供应器，所述从发生器包括自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于所述第一状态时将第二频率输入提供给所述从功率供应器，所述从发生器包括自动频率控制单元以在所述脉冲信号处于第二状态时将第三频率输入提供给所述从功率供应器；以及用于产生所述脉冲信号的数字脉冲源。