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Mikromechanische Vorrichtung, mit einem ein Sensorelement (120, 125, 300) zur Erfassung einer Druckgröße aufweisenden mikromechanischen elektrischen Bauelement, wobei die mikromechanische Vorrichtung•ein das Bauelement (120, 300) wenigstens teilweise bedeckendes Passivierungsmittel (160) und•ein in Abhängigkeit von einer die Temperatur des Passivierungsmittels (160) repräsentierenden Temperaturgröße geregeltes Heizelement (200, 210, 220, 230, 240, 250) zum Erwärmen des Passivierungsmittels (160) aufweist, wobei die Temperatur des Passivierungsmittels (160) mittels des Heizelements (200, 210, 220, 230, 240, 250) derart auf eine Temperatur über der Temperatur eines die mikromechanische Vorrichtung umgebenden Mediums geregelt wird, dass eine Diffusion von aggressiven Medien, die in einer Umgebung, in der die mikromechanische Vorrichtung eingesetzt wird, enthalten sind, in das Passivierungsmittel (160) zumindest reduziert wird. |
