| 发明名称 | In-Ga-Zn系氧化物、氧化物烧结体以及溅射靶 | ||
| 摘要 | 一种氧化物，其含有铟元素(In)、镓元素(Ga)以及锌元素(Zn)，通过X射线衍射测定(Cukα射线)，在入射角(2θ)为7.0°～8.4°、30.6°～32.0°、33.8°～35.8°、53.5°～56.5°以及56.5°～59.5°的各位置处观测到衍射峰，并且，在2θ为30.6°～32.0°以及33.8°～35.8°的位置处观测到的衍射峰中的一个为主峰，其他为副峰。 | ||
| 申请公布号 | CN102395542B | 申请公布日期 | 2013.09.04 |
| 申请号 | CN201080016347.5 | 申请日期 | 2010.11.17 |
| 申请人 | 出光兴产株式会社 | 发明人 | 矢野公规;糸濑将之;川岛浩和 |
| 分类号 | H01L21/203(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I;C04B35/453(2006.01)I;C01G15/00(2006.01)I;C04B35/00(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/203(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 翟赟琪 |
| 主权项 | 一种氧化物烧结体，其含有铟元素In、镓元素Ga以及锌元素Zn，通过基于Cukα射线的X射线衍射测定，在入射角2θ为7.0°～8.4°、30.6°～32.0°、33.8°～35.8°、53.5°～56.5°以及56.5°～59.5°的各位置处能观测到衍射峰，并且，在2θ为30.6°～32.0°以及33.8°～35.8°的位置处观测到的衍射峰中的一个为主峰，其他为副峰，铟元素In、镓元素Ga以及锌元素Zn的原子比满足下述式(1)以及(2)，0.45≤Zn/(In+Ga+Zn)≤0.60 (1)0.21≤Ga/(In+Ga)≤0.29 (2)。 | ||
| 地址 | 日本国东京都 | ||