| 摘要 |
本发明提供可以检测基板上之导电图案之开路状态之电路图案检查装置及其方法。;在导电图案之一方端部配置供电部12，以非接触之方式供给检查信号，在该导电图案之另外一方端部配置开路感测器13，用来以非接触之方式检测检查信号。另外，在离开该导电图案数个图案之距离之导电图案，于配置有开路感测器13之同一侧之端，以非接触状态配置杂讯感测器19。将开路感测器13检测到之检查信号和杂讯混合之信号，和杂讯感测器检测到之未与检查信号混合之杂讯之信号输入到差动放大器20，用来除去同相成分之信号之杂讯，藉以排除杂讯之影响，可以以非接触之方式确实检查被配置在基板上成为行状之导电图案是否良好。 |
