发明名称 | 用以调整集成电路设计的区域和全域图案密度的方法 | ||
摘要 | 本发明是有关于一种集成电路(integrated circuit,IC)设计方法,包括下列步骤:提供一电路设计布局,其具有多个功能区块设置在彼此相距一距离处;在该电路设计布局中,在距离一功能区块一预定距离内,对一邻近虚拟区域确定一区域图案密度;根据该区域图案密度,对该邻近虚拟区域执行一邻近区域虚拟物插入;对该多个功能区块的其余至少部分功能区块,重复上述确定步骤和执行步骤;及根据一全域图案密度,对一非邻近虚拟区域实施一全域虚拟物插入。该方法能够确定是否非邻近虚拟区域符合全域图案密度要求。尤其是,包括功能区块、邻近区域(本地区域)、及非邻近虚拟区域的一区域的总体图案密度达到一均匀图案密度分布。 | ||
申请公布号 | CN102169517B | 申请公布日期 | 2013.08.28 |
申请号 | CN201010232075.4 | 申请日期 | 2010.07.16 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 郑英周;蔡正隆;欧宗桦;蔡振坤;刘如淦;黄文俊 |
分类号 | G06F17/50(2006.01)I | 主分类号 | G06F17/50(2006.01)I |
代理机构 | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人 | 寿宁;张华辉 |
主权项 | 一种集成电路设计方法,其特征在于,包括下列步骤:提供一电路设计布局,其具有多个功能区块设置在彼此相距一距离处;在该电路设计布局中,在距离一功能区块一预定距离内,对一邻近虚拟区域确定一区域图案密度;根据该区域图案密度,对该邻近虚拟区域执行一邻近区域虚拟物插入;对该多个功能区块的其余至少部分功能区块,重复上述确定步骤和执行步骤;及根据一全域图案密度,对一非邻近虚拟区域实施一全域虚拟物插入。 | ||
地址 | 中国台湾新竹市新竹科学工业园区力行六路8号 |