发明名称 |
一种氮化镓基声表面波器件 |
摘要 |
本实用新型公开了一种氮化镓基声表面波器件,由下至上依次为SiC基片、氮化铝成核层、氮化镓材料层、氮化铝层以及氮化镓铝层;氮化镓铝层上设有声表面波叉指换能器,声表面波叉指换能器包括输入换能器、输出换能器及外围的吸声材料区。本实用新型使得声表面波能量能集中于声表面波器件氮化镓层中,有益于提供声表面波器件效率。 |
申请公布号 |
CN203166849U |
申请公布日期 |
2013.08.28 |
申请号 |
CN201320181100.X |
申请日期 |
2013.04.11 |
申请人 |
镇江畅信超声电子有限公司 |
发明人 |
王晓彧;吴浩东;陈江龙 |
分类号 |
H03H9/21(2006.01)I |
主分类号 |
H03H9/21(2006.01)I |
代理机构 |
江苏圣典律师事务所 32237 |
代理人 |
胡建华 |
主权项 |
一种氮化镓基声表面波器件,其特征在于,由下至上依次为SiC基片、氮化铝成核层、氮化镓材料层、氮化铝层以及氮化镓铝层;氮化镓铝层上设有声表面波叉指换能器,声表面波叉指换能器包括输入换能器、输出换能器及外围的吸声材料区。 |
地址 |
212000 江苏省镇江市高新园区南纬四路36号一号楼111号 |