发明名称 一种氮化镓基声表面波器件
摘要 本实用新型公开了一种氮化镓基声表面波器件,由下至上依次为SiC基片、氮化铝成核层、氮化镓材料层、氮化铝层以及氮化镓铝层;氮化镓铝层上设有声表面波叉指换能器,声表面波叉指换能器包括输入换能器、输出换能器及外围的吸声材料区。本实用新型使得声表面波能量能集中于声表面波器件氮化镓层中,有益于提供声表面波器件效率。
申请公布号 CN203166849U 申请公布日期 2013.08.28
申请号 CN201320181100.X 申请日期 2013.04.11
申请人 镇江畅信超声电子有限公司 发明人 王晓彧;吴浩东;陈江龙
分类号 H03H9/21(2006.01)I 主分类号 H03H9/21(2006.01)I
代理机构 江苏圣典律师事务所 32237 代理人 胡建华
主权项 一种氮化镓基声表面波器件,其特征在于,由下至上依次为SiC基片、氮化铝成核层、氮化镓材料层、氮化铝层以及氮化镓铝层;氮化镓铝层上设有声表面波叉指换能器,声表面波叉指换能器包括输入换能器、输出换能器及外围的吸声材料区。
地址 212000 江苏省镇江市高新园区南纬四路36号一号楼111号