发明名称 | 一种等离子体辐照平台 | ||
摘要 | 本发明涉及一种等离子体辐照平台,属于等离子体应用技术领域,其包括离子源、腔体和激光加热系统,所述离子源密封在腔体内,激光加热系统在腔体外,所述离子源包括石英管、缠绕在石英管外壁上的铜管和用于屏蔽射频电场的屏蔽罩,石英管和缠绕在石英管外壁上的铜管置于屏蔽罩内,石英管上端设有进气口,石英管下端设有离子喷射口,所述铜管两端在腔体外与射频电源两端连接,所述屏蔽罩底部设有通孔,所述腔体内设有样品台,样品台位于离子源正下方,样品台正下方设有石英窗,石英窗与腔体密封连接,所述激光加热系统包括组合式激光器,组合式激光器固定在石英窗正下方,本发明有益效果为设备简单,具有成本低廉、实验周期短、实验效率高优点。 | ||
申请公布号 | CN103258581A | 申请公布日期 | 2013.08.21 |
申请号 | CN201310156186.5 | 申请日期 | 2013.04.28 |
申请人 | 大连民族学院 | 发明人 | 刘东平;杨德明;范红玉 |
分类号 | G21K5/02(2006.01)I | 主分类号 | G21K5/02(2006.01)I |
代理机构 | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人 | 赵淑梅;李馨 |
主权项 | 一种等离子体辐照平台,其特征在于:所述等离子体辐照平台包括离子源(1)、腔体(2)和激光加热系统(3),所述离子源(1)密封在腔体(2)内,所述激光加热系统(3)在腔体(2)外,所述离子源(1)包括石英管(11)、缠绕在石英管外壁上的铜管(12)和用于屏蔽射频电场的屏蔽罩(13),所述石英管(11)和缠绕在石英管外壁上的铜管(12)置于屏蔽罩(13)内,所述石英管(11)上端设有与腔体外连通的进气口(111),石英管(11)下端设有离子喷射口(112),所述铜管(12)两端在腔体(2)外与射频电源两端连接,所述屏蔽罩(3)底部设有用于通过等离子体的通孔(131),所述腔体(2)内设有样品台(21),样品台(21)位于离子源(1)正下方,样品台(21)正下方设有石英窗(22),所述石英窗(22)与腔体(2)密封连接,所述激光加热系统(3)包括组合式激光器(31),组合式激光器(31)固定在石英窗(22)正下方。 | ||
地址 | 116600 辽宁省大连市金州新区辽河西路18号 |